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（中央社記者張建中新竹27日電）清大半導體研究學院今天揭牌，臺積電前研發副總經理林本堅擔任院長，他透露，英特爾2002年曾組EUV聯盟，臺積電無法參加，改採浸潤式微影技術，反而超越英特爾。專精微影技術的林本堅，今天受訪時提起當年臺積電導入浸潤式微影技術的往事。他表示，英特爾大約在2002年就與超微（AMD）及IBM等企業一起成立EUV LLC聯盟，
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希望共同研發極紫外光（EUV）相關設備，導入60、40奈米製程使用。林本堅說，
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當時聯盟共有6家廠商，
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臺積電無法加入，改採浸潤式微影技術，直到5奈米製程才採用EUV技術。除英特爾外，EUV LLC聯盟的其他成員廠商都沒有再持續下去。對於中芯國際遭美國管制，
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林本堅表示，中芯雖然無法取得EUV設備，不過中芯目前設備，就可以推進到5奈米製程。林本堅說，
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半導體製程技術推進成本越來越高，不一定要微縮，現在有很多方法可以降低成本、效能更好。清大半導體研究學院與臺積電、聯電、力積電及美光等11家企業合作；林本堅表示，也歡迎英特爾加入清大半導體研究學院的合作行列。（編輯：楊蘭軒）1101227
文章源自於中央社，
